MACHINE機器情報
表面処理・改質装置 プラズマ装置
プラズマリアクター PR510
| メーカー | ヤマト科学 |
|---|---|
| 販売元 | ヤマト科学 |
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特長
バレル式高周波低温プラズマでウエーハのレジストに
概要
- オートマッチング機構の標準装備をはじめ、タッチパネル（PR510）の採用により、さらに操作性・安全性を高めた、コンパクトタイプのバレル型プラズマ処理装置です。
- フォトレジストの除去、部品の洗浄、界面活性処理、マイクロ研磨、ウエーハ・ガラス基板に対応。
商品ページ
仕様
| 型式 | PR510 |
|---|---|
| サイズ | 外寸：W520×D630×H760mm／チャンバ寸法：内径φφ215×305mm |
| 質量 | 70Kg |
| 電源 | 3φ AC200V 8A（15A） |
| その他 | 方式 DP方式バレル型 制御部高周波出力 最大500W 制御部発振周波数 13.56MHz 反応ガス系 酸素/CF4 2系統 |
| メーカー希望小売価格(税別) | 8,190,000円 |
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