MACHINE機器情報
表面処理・改質装置 プラズマ装置
プラズマドライクリーナー PDC200
| メーカー | ヤマト科学 |
|---|---|
| 販売元 | ヤマト科学 |
お問い
合わせ
リストに
入れる お問い
合わせ
リストから
削除する
合わせ
リストに
入れる お問い
合わせ
リストから
削除する
比較リスト
に入れる 比較リスト
から
削除する
に入れる 比較リスト
から
削除する
特長
研究開発に最適な小型タイプ
概要
CSP・BGA・COB基板のプラズマ処理、有機膜、金属酸化膜の除去、プリント基板のドライクリーニング、界面活性処理、LED組み立ての用途に最適です。
商品ページ
仕様
| 型式 | PDC200 |
|---|---|
| サイズ | 外寸：W540×D600×H600mm／ステージ寸法：W250×D170mm |
| 質量 | 100Kg |
| 電源 | 1φ AC200V 10A（15A） |
| その他 | 方式 RIE方式（DPモードオプションで対応可） 制御部高周波出力 最大500W 制御部発振周波数 13.56MHz 反応ガス系 アルゴン/酸素 2系統 パージガス 窒素もしくはドライエアー 1系統 |
| メーカー希望小売価格(税別) | 6,930,000円 |
PAGE
TOP