MACHINE機器情報

JIB-4000PLUSは高性能イオンカラムを搭載した集束イオンビーム加工観察装置(シングルビームFIB装置)です。加速したGaイオンビームを集束し試料に照射する事で、試料表面のSIM像観察、ミリング加工、カーボンやタングステンなどのデポジションが行えますので、TEM観察のための薄膜試料や試料内部を観察するための断面試料の作製が可能です。また、三次元観察機能、自動TEM試料作製機能を搭載できますので、試料作製の多様なニーズにお答えします。

収束イオンビーム加工観察装置（FIB）JIB-4000PLUS

High Power FIBカラム
JIB-4000PLUSは、イオンビームの最大電流値が60nAのHigh Power FIBカラムを採用しています。さらに、オプションで最大電流値を90nAまで拡張できます。最大ビーム電流の向上により、試料作製時間の短縮、より広領域の試料作製が可能になりました。100μmを超える幅広い断面試料も短時間で作製できます。