MACHINE機器情報

製品イメージ

顕微鏡・観察装置 走査電子顕微鏡

表面分析装置光分析・クロマト及び質量分析関連装置ライフサイエンス関連機器遺伝子検査・診断機器試験・計測機器電気化学分析機器表面分析装置

日本電子 JSM-IT800 電界放出形走査電子顕微鏡

メーカー 日本電子
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特長

JSM-IT800は、高分解能観察を実現するための “インレンズショットキーPlus電界放出形電子銃” と次世代型電子光学制御システム “Neo Engine”、高速度元素マッピングを実現するために使いやすさを追求したGUI “SEM Center” に自社製EDSを組込んだシステムを共通のプラットフォームとしています。

SEMの対物レンズをモジュールとして置き換えることで、お客様の様々なニーズに応じた装置を提供します。 JSM-IT800には、対物レンズの違いにより、汎用FE-SEMであるハイブリッドレンズバージョン (HL)、より高分解能観察や分析を可能にするスーパーハイブリッドレンズバージョン (SHL/SHLs、機能の違いにより2バージョン)、半導体試料観察を得意とするセミインレンズバージョン (i/is 、機能の違いにより2バージョン) と5つのバージョンをラインナップしました。

さらに、JSM-IT800には、新しい反射電子検出器であるシンチレーター反射電子検出器 (SBED) と多目的反射電子検出器 (VBED) が搭載可能です。SBEDでは応答性の良い、低加速電圧での材料コントラスト像の取得ができます。VBEDでは、3D、凹凸、材料コントラスト像の取得が出来るため、今まで得られなかった情報の取得やお困りの測定への改善が期待できます。

商品ページ

仕様

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