MACHINE機器情報

日本語環境で操作できる新設計のユーザーインターフェースを採用し、「誰もが、簡単に、直ぐに使えること」を実現しました。また、カウフマン型エッチングイオンソースやツインアノードを標準装備の上、汎用XPSでありながら高温加熱システムやガスクラスターイオンソース等幅広い拡張性も備えています。

光電子分光装置（XPS）JPS-9030

使いやすさを追求した新開発ソフトウェア
日本語に対応した新開発ソフトウェアSpecSurf Ver.2.0は、リボンインターフェースとタブウィンドウシステムの組み合わせにより、マウスのみによるユーザーフレンドリーな操作環境を提供します。
また、JEOL独自の自動定性機能により、複数の測定位置における定性・定量および化学状態分析がシーケンシャルに実行可能です。

ハイエンド機に匹敵する超高感度
角度分解測定法 (ARXPS) や全反射測定法 (TRXPS) に対応しており、1 nm (標準測定法6 nm以上) 以下における極表面をハイエンド機にも匹敵する超高感度で分析できます。

豊富なオプション
エネルギー分解能を向上させる単色化X線源

ダメージを受けやすい有機物試料に適したArガスクラスターイオンソース

1,000 °C 以上まで加熱可能な赤外線加熱システム

非曝露試料に対応するトランスファーベッセル

等の豊富なオプションを用意し、お客様のあらゆるニーズにお応えします。

XPSで分析できること
最表面元素分析
XPSは、試料最表面 (10 nm 以下) での元素分析が可能です。
そのため、見た目で判断しづらい有機汚れも簡単に分析することができます。