MACHINE機器情報
表面処理・改質装置 プラズマ装置
ソフトプラズマエッチング装置
| メーカー | メイワフォーシス |
|---|---|
| 販売元 | メイワフォーシス |
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特長
親水化やクリーニングをダメージなく処理
PDMSも簡単に接着
高出力モデルが新登場！
高効率なドライエッチングが可能。
概要
SEDE-PHLはCF4ガスを導入し、1000Vの高出力プラズマを安定して照射することができるため、これまで大型高周波設備でなければ難しかったドライエッチングを小型卓上モデルで実現、処理の難しいサンプルも短時間で均一にエッチング処理することができます。
商品ページ
仕様
| 型式 | SEDE-PHL |
|---|---|
| サイズ | W367×D258×H345mm |
| 質量 | 20kg |
| 電源 | AC100V |
| その他 | 放電方式:グロー放電 出力:3～90W 試料ステージ:Φ148mm 均一照射面積:80% 領域面積:138cm2 使用可のガス:大気・酸素・アルゴン・CF4他 真空ポンプ容量:136L |
| メーカー希望小売価格(税別) | お問合せください |
出力は研究内容に合わせてカスタマイズできます。
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