MACHINE機器情報
精密測定機器 超高速分光干渉式厚み計
超高速分光干渉式厚み計
| メーカー | 大塚電子 |
|---|---|
| 販売元 | 大塚電子 |
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特長
- 非接触、非破壊で厚み測定が可能
- 反射光学系（片側からのコンタクトで測定が可能）
- 高速性（最速5kHz）且つリアルタイム評価が可能
- 高い安定性（繰返し精度 0.01％以下）を実現
- 粗さに強い
- 任意距離に対応が可能
- 多層構造に対応（最大5層）
- Gデータ排除機能を内蔵
- 距離（形状）測定が可能（組込センサー用付属オプション）
概要
SFシリーズ
ウェーハ等の研削研磨プロセスを非接触でウェーハや樹脂の超高速リアルタイム・高精度 に測定
商品ページ
仕様
| 型式 | 超高速分光干渉式厚み計 |
|---|---|
| メーカー希望小売価格(税別) | お問合せください |
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