MACHINE機器情報
精密測定機器 超高速分光干渉式厚み計
超高速分光干渉式厚み計
メーカー | 大塚電子 |
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販売元 | 大塚電子 |
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特長
- 非接触、非破壊で厚み測定が可能
- 反射光学系(片側からのコンタクトで測定が可能)
- 高速性(最速5kHz)且つリアルタイム評価が可能
- 高い安定性(繰返し精度 0.01%以下)を実現
- 粗さに強い
- 任意距離に対応が可能
- 多層構造に対応(最大5層)
- Gデータ排除機能を内蔵
- 距離(形状)測定が可能(組込センサー用付属オプション)
概要
SFシリーズ
ウェーハ等の研削研磨プロセスを非接触でウェーハや樹脂の超高速リアルタイム・高精度 に測定
商品ページ
仕様
型式 | 超高速分光干渉式厚み計 |
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メーカー希望小売価格(税別) | お問合せください |
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