MACHINE機器情報

製品イメージ

精密測定機器 超高速分光干渉式厚み計

表面分析装置光分析・クロマト及び質量分析関連装置ライフサイエンス関連機器遺伝子検査・診断機器試験・計測機器電気化学分析機器光分析・クロマト及び質量分析関連装置

大塚電子 超高速分光干渉式厚み計

メーカー 大塚電子
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特長

  • 非接触、非破壊で厚み測定が可能
  • 反射光学系(片側からのコンタクトで測定が可能)
  • 高速性(最速5kHz)且つリアルタイム評価が可能
  • 高い安定性(繰返し精度 0.01%以下)を実現
  • 粗さに強い
  • 任意距離に対応が可能
  • 多層構造に対応(最大5層)
  • Gデータ排除機能を内蔵
  • 距離(形状)測定が可能(組込センサー用付属オプション)

概要

SFシリーズ

ウェーハ等の研削研磨プロセスを非接触でウェーハや樹脂の超高速リアルタイム・高精度 に測定

商品ページ

仕様

メーカー希望小売価格(税別) お問合せください

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