MACHINE機器情報

• 膜厚測定に必要な機能をヘッド部に集約！
• 顕微分光で高精度な絶対反射率測定（多層膜厚、光学定数）
• 1ポイント1秒以内の高速測定
• 顕微下で広い測定波長範囲を実現する光学系（紫外～近赤外）
• エリアセンサーによる安全機構
• 初めての方でも光学定数解析が可能な楽々解析ウイザード
• 測定シーケンスをカスタマイズ可能なマクロ機能搭載
• 各種カスタマイズに対応

OPTMシリーズ

顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。
各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/pointの高速測定が可能で初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。