MACHINE機器情報

1.  試料を置くだけで測定可能
   自動位置決め機能により、サンプルを置くだけで、数秒以内に試料観察光学系のフォーカスを合わせます。
2.  50nmの薄金メッキの膜厚を10秒で測定
   最適レイアウトで微小ビームの高感度化を実現し、微小コリメータ（φ0.1、0.2mm）での膜厚測定精度が向上しました。
3.  標準試料なしの測定が可能
   薄膜FPソフト拡充により、厚み標準物質なしでも測定が可能です。多層膜や合金膜の測定が簡単に行えます。
4.  広域観察システムによる簡単位置決め
   広域観察システムにより、試料全体像（最大250×200mm）を観察し、特定部の測定位置を容易に指定することができます。

蛍光X線膜厚計 FT110A

自動位置決め機能により、試料台の上にサンプルを置くだけで、試料観察光学系の焦点を数秒以内に自動的に合わせることができます。これにより、従来は手動で行っていた焦点合わせの操作が無くなり、測定にかかわるスループットが格段に向上しました。