JIB-4700F 複合ビーム加工観察装置

メーカー	日本電子
販売元	日本電子

お問い
合わせ
リストに
入れるお問い
合わせ
リストから
削除する

比較表
に入れる比較表
から
削除する

お見積りや資料請求、ご注文のお問い合わせはこちら

特長

SEM鏡筒にハイブリッドコニカル対物レンズ、GENTLEBEAM^TM (GB）モード、インレンズ検出器システムを搭載し、1kVの低加速電圧で保証分解能1.6nmを実現しました。最大照射電流300nAの電子ビームを得られる「インレンズショットキー電子銃」との組み合わせで、高分解能観察と高速分析が可能です。FIB鏡筒は、最大照射電流90nAの高電流密度Gaイオンビームを採用し、試料を高速に加工します。 FIBによる高速断面加工後の高分解能SEM観察や、EDS（エネルギー分散型X線分析装置）、EBSD（結晶方位解析システム）などの各種分析装置による高速分析が可能です。また、自動的に一定の間隔で断面加工を行いながらSEM像取得を行う三次元解析機能も標準搭載しています。

概要

収束イオンビーム加工観察装置（FE-FIB）JIB-4700F

高分解能SEM観察
電磁界重畳型コニカル対物レンズ、GBモード、インレンズ検出器を搭載することにより、1kVの低加速電圧で保証分解能1.6nmを実現しました

商品ページ

仕様

型式	JIB-4700F
その他	SEM 入射電圧：0.1 ～ 30.0 kV 分解能(最適WD時)：1.2 nm (15 kV, GBモード) 　　　　　　　　　1.6 nm (1 kV, GBモード) 倍率：x20 ～ 1,000,000(LDFモード搭載) 照射電流：1pA ～ 300nA 検出器 (オプション)：LED, UED, USD, BED, TED, EDS* 試料ステージ：コンピュータ制御6軸ゴニオメーターステージ X: 50 mm, Y: 50mm, Z: 1.5 ～ 40 mm, R: 360°, T: -5 ～ 70°, FZ: -3.0 ～ +3.0 mm FIB 加速電圧：1 ～ 30 kV 像分解能：4.0 nm (30kV) 倍率：x50 ～ 1,000,000(x50 ～ 90は加速電圧15kV以下で可能) 照射電流：1 pA ～ 90 nA, 13 段階加工形状：矩形, 線, 点, 円, ビットマップ
メーカー希望小売価格(税別)	お問合せください