MACHINE機器情報

製品イメージ

顕微鏡・観察装置 集束イオンビーム装置

表面分析装置光分析・クロマト及び質量分析関連装置ライフサイエンス関連機器遺伝子検査・診断機器試験・計測機器電気化学分析機器表面分析装置

日本電子 JIB-4700F 複合ビーム加工観察装置

メーカー 日本電子
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特長

SEM鏡筒にハイブリッドコニカル対物レンズ、GENTLEBEAMTM (GB)モード、インレンズ検出器システムを搭載し、1kVの低加速電圧で保証分解能1.6nmを実現しました。最大照射電流300nAの電子ビームを得られる「インレンズショットキー電子銃」との組み合わせで、高分解能観察と高速分析が可能です。FIB鏡筒は、最大照射電流90nAの高電流密度Gaイオンビームを採用し、試料を高速に加工します。 FIBによる高速断面加工後の高分解能SEM観察や、EDS(エネルギー分散型X線分析装置)、EBSD(結晶方位解析システム)などの各種分析装置による高速分析が可能です。また、自動的に一定の間隔で断面加工を行いながらSEM像取得を行う三次元解析機能も標準搭載しています。

概要

収束イオンビーム加工観察装置(FE-FIB)JIB-4700F

商品ページ

仕様

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