MACHINE機器情報

製品イメージ

顕微鏡・観察装置 透過電子顕微鏡

JEM-ARM200F NEOARM 原子分解能分析電子顕微鏡

メーカー 日本電子
販売元 日本電子
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特長

“NEOARM”は、当社独自の技術で開発された冷陰極電界放出形電子銃(Cold-FEG)と高次の収差まで補正可能な新型球面収差補正装置(ASCOR)を標準搭載し、200 kVの高加速電圧だけでなく30 kVの低加速電圧においても原子分解能での観察を実現しました。
また、当社独自の収差補正アルゴリズムを開発し高速かつ正確な収差補正を自動的に行うシステムを搭載しました。これにより、ハイスループットな原子分解能観察を提供します。
さらに、加速電圧によらず高い軽元素のコントラストが得られる新型STEM検出器を搭載しました。これにより軽元素のコントラストを向上させゆく新たなSTEMイメージング手法(e-ABF法)が可能となり軽元素を含む材料の明瞭なコントラスト観察が容易になります。
昨今、主流となっておりますリモート操作のご要求に応えるため、本体と操作卓を分離し当社の新しいコンセプトカラーであるピュアホワイトとJEOLシルバーを採用しより洗練されたフォルムデザインに仕上がりました。

概要

透過型電子顕微鏡(FE-TEM)JEM-ARM200F NEOARM

仕様

型式 JEM-ARM200F
その他 分解能*1:
STEM HAADF 像 70 pm (200 kV)、100 pm (80 kV)、160 pm (30 kV)
TEM 情報限界 100 pm (200 kV)、110 pm (80 kV)、250 pm (30 kV)
電子銃:冷陰極電界放出形電子銃 – 標準搭載
収差補正装置:STEM: NEO ASCOR HOAC*2、TEM: CETCOR with DSS*3
収差補正装置自動調整システム:
NEO JEOL COSMO™ 自動収差補正システム、その場チューニングシステム(SIAM)標準組込
加速電圧:30 ~ 200 kV (80、200 kV – 標準、30、60、120 kV – オプション)
磁場フリーモード:
ローレンツ・倍率設定モード ( 画面上 ×50 ~ 80 k) – 標準搭載
試料移動機構:X,Y,Z スーパーファイン機械駆動、ウルトラファイン・ピエゾ素子駆動 – 標準搭載
操作:RDS*4 操作
メーカー希望小売価格(税別) お問合せください

※1 UHR (超高分解能ポールピース) 付きのSTEM/TEM球面収差補正装置構成の場合
※2 HOAC (高次収差補正装置)
※3 DSS (DeScan(デスキャン)システム)
※4 RDS (設置室分割)

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お気軽にお問い合わせください。

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