MACHINE機器情報

製品イメージ

顕微鏡・観察装置 走査電子顕微鏡

JSM-IT710HR 走査電子顕微鏡

メーカー 日本電子
販売元 日本電子
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特長

~さらなる進化で観察・分析は装置に任せて効率アップ~
電子銃の安定性向上により観察・分析の自動測定機能を進化させ、走査電子顕微鏡の総合力を大きく向上させました。

概要

見えるから、追求したい
ナノメートルオーダーでの分解能や分析性能はもちろんのこと、データを取得する際のスループットも重要視される今、新たに誕生したJSM-710HRは、”誰でも簡単に高分解能の画像を撮ることが出来るSEM”をテーマに掲げたJEOLのHRシリーズの4世代モデルです。
自動機能を充実させた操作性と新しい検出器系を兼ね備えた観察性能の向上により、見えたその先をさらに探求したくなる装置です。

仕様

型式 JSM-IT710HR
サイズ 780mmX1000mmX1620mm
質量 約650kg
電源 単相AC100V、50/60Hz、3.0kVA
その他 電子銃:インレンズショットキー電解放出電子銃
分解能:1.0nm(20kV)/ 3.0nm(1kV)/ 3.0nm(分析時条件 15kV、3nA)
倍率:x5~x600,000
入射電圧:0.5~30kV
試料サイズ(最大径):200nm
ステージ稼働範囲:X:125mm Y:100mm Z:80mm R:360° T:-10~90°
試料移動方式:5軸(X,Y,Z,R,T)モーター駆動
高真空モード:標準搭載
低真空モード:標準搭載
EDS分析機能:LAに標準搭載
EDS検出器面積:30/60/100 mm2
拡張機能:WDS/EBSD/CL
メーカー希望小売価格(税別) お問合せください

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