MACHINE機器情報

製品イメージ

顕微鏡・観察装置 走査電子顕微鏡

JSM-IT210 走査電子顕微鏡

メーカー 日本電子
販売元 日本電子
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特長

~さらなる進化で観察・分析は装置に任せて効率アップ~
5軸モーター試料ステージの搭載により観察・分析の自動測定機能を進化させ、走査電子顕微鏡の総合力を大きく向上させました。

概要

必要なデータをいつだってシンプルに
JIS-210は日本電子の据置型としては、最もコンパクトな走査電子顕微鏡です。新開発のステージは、5軸移動が全てモーター駆動となり、より安心で迅速にご使用いただけます。さらに、新たに搭載した”Simple SEM”は視野を選択するだけで観察・分析を自動で取得します。JSM-IT210はコンパクトで無人運転が可能な新世代のSEMです。

仕様

型式 JSM-IT210
サイズ 630mmX840mmX1510mm
質量 約260kg
電源 単相 AC100V、50/60Hz、1.5kVA
その他 電子銃:熱電子銃
分解能:3.0nm(30kV)/ 8.0nm(3kV)/ 15nm(1kV)
倍率:x5~x300,000
入射電圧:0.3~30kV
試料サイズ(最大径):150nm
ステージ稼働範囲:X:80mm Y:40mm Z:48mm R:360° T:-10~90°
試料移動方式:5軸(X,Y,Z,R,T)モーター駆動
高真空モード:標準搭載
低真空モード:LV/LAに標準搭載
EDS分析機能:A/LAに標準搭載
EDS検出器面積:30/60 mm2
拡張機能:-
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