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フェローテックマテリアルテクノロジーズ チラー（冷却水循環装置）のご紹介
高精度が要求される半導体業界向けチラーをラボ向けに再設計し、ローコスト化。
メーカー希望小売価格 215,000円
メーカー希望小売価格 170,000円
装置仕様
| 項目 | 規格 | |
|---|---|---|
| モデル名 | FCCA56121-4401 | FCCA33121-4401 |
| 冷却方法 | コンプレッサー式 | |
| 放熱方法 | 強制空冷 | |
| 制御方式 | ON/OFF 制御 | |
| 周囲温度/湿度 | 5～35℃/30～80%RH | |
| 使用冷媒 | R410A | |
| 冷媒充填量 | 350ｇ | 370ｇ |
| 循環液 | 純水(精製水)、市水、エチレングリコール液(濃度60％) | |
| 設定温度範囲 | -20.0～30.0℃ | |
| 冷却能力 | 約1,400W(10℃) ※1 | 約520W(10℃) ※1 |
| 約570W(-10℃) ※2 | 約335W(-10℃) ※2 | |
| 温度安定性 | ±0.5℃ ※3 | |
| ポンプ | 約14.5L/min、揚程約20ｍ(max) | 約12L/min、揚程約11ｍ(max) |
| タンク容量 | 約13L | 約5L |
| 配管IN/OUT | 外形Φ10ｍｍ | |
| ドレン | 外形Φ20ｍｍ(装置付帯プラグ付き) | |
| 接液部材料 | SUS304、EPDM、HDPE、PP、VMQ | |
| 電源 | 単相AC100V±10％、50/60Hz | |
| 過電流保護 | 15A | 10A |
| 定格電流 | 10.5A（AC100V） | 5A（AC100V） |
| REMOTE操作 | 外部接点入力 | |
| 重量 | 42kg | 27kg |
※1、周囲温度：20℃、目標温度：10℃、
※2、周囲温度：20℃、目標温度：-10℃、
※3、メーカー測定基準
私たちフェローテックは、1980年に設立し半導体等装置関連事業/電子デバイス事業/車載関連事業の製造販売を行うグローバル企業です。(売上高2224億円グループ合計)
今回、お客様の声を集め、精度±0.01℃を要求される半導体業界向けチラーをラボ向けに再設計。
余裕のある性能(吸熱量、ポンプ)、精度±0.5℃、設置場所小スペース化(1400W低床型化)、そして必要最低限の機能によるローコスト化を実現。日本国内使用に必要なPSE認証済み。
ぜひ、半導体業界で使用される技術を用いたラボ向けチラーにて、一段上の性能をご実感下さい。
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