MACHINE機器情報
表面処理・改質装置 プラズマ装置
プラズマドライクリーナー PDC510
| メーカー | ヤマト科学 |
|---|---|
| 販売元 | ヤマト科学 |
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特長
小型・高出力ながら、RIEモード/DPモードを標準搭載（切替式）
概要
- CSP・BGA・COB基板のプラズマ処理、有機膜、金属酸化膜の除去、プリント基板のドライクリーニング、界面活性処理、LED組み立ての用途に最適です。
- バッチ式の生産機としての運用も可能です。
商品ページ
仕様
| 型式 | PDC510 |
|---|---|
| サイズ | 外寸：W700×D700×H1,285mm／ステージ寸法：W400×D200mm |
| 質量 | 180Kg |
| 電源 | 3φ AC200V 8A（10A） |
| その他 | 方式 RIE・DP切替方 制御部高周波出力 最大500W 制御部発振周波数 13.56MHz 反応ガス系 アルゴン/酸素 2系統 パージガス 窒素もしくはドライエアー 1系統 |
| メーカー希望小売価格(税別) | 10,400,000円 |
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